貫通穴付段堀りガラス基板

貫通穴付段堀りガラス基板

高精細フォトリソグラフィーとケミカルエッチング技術を組み合わせて加工した、高品質貫通穴付ガラスウェハーです。C-MOSウェハーレベル・パッケージングにご使用いただけます。

弊社ガラスウェハーの特徴

  • 弊社の高精細フォトリソグラフィーで配置されたパターンは、寸法精度が大変高いため多層構成に効果を発揮します。
  • ケミカルエッチング手法を使うことで端面形状を滑らかにでき、ガラスの強度UPにつながります。
  • 高精度な段堀り加工技術が、お客様のあらゆる設計仕様に対応いたします。
  • 貫通穴の直径寸法は、ガラスの板厚により決まります。
    (φ=1mmの穴を φ=12inch 、板厚t=0.4mmのガラスウェハーに約15,000個あけられます。)
  • 表面反射を抑えるため、ガラス表面にクロム(ブラック)層を形成することができます。

パターニングの寸法仕様

貫通穴形状1

  • 直径(A)は1mm以上(ホールピッチは基板の厚みとフォトリソグラフィーのプロセスによって決まります。)
  • エッチング深さ(B)は0.3mm~0.7mm(基板の厚みと段堀りの深さはお客様の仕様に合わせて決めることができます。)
  • テーパー角度(C)は75°以下(片面あるいは両面から、先細掘り込みができます。)

貫通穴形状2

  • 内穴の直径(D)は0.3mm以上です。
  • 段堀りの長さ(E) はお客様の仕様に合わせて製作することができます。
  • 基板の表面と裏面の穴径を変えることができます。

色々な基材が選べます

  • ガラス板厚:t=0.3~0.7mm
  • ガラス形状:φ=4inch / 6inch / 8inch / 12inch の丸型基板、および四角型の基板。
  • ガラス種類:無アルカリガラス/ソーダガラス/ボロシリケートガラス/アルミノシリケートガラス等 そのほかのガラスにつきましてはご相談ください。